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现在顾律面前的这台MOCVD,虽然使用的仍旧是国内的行星反应室结构,但在设备的其他组成系统上,应该进行了深层次的优化。
顾律只是简单的上下打量了这台设备一眼,就得出一个这样的结论。
“张主任,你们的这台设备应该进行了一定程度的改装吧,根据我的推测,这台MOCVD不止最多可以同时生长两片1.5英寸的GaN宽禁带半导体?”顾律说出自己的猜测。
张主任竖起大拇指。
“你说的没错。”张主任拍拍设备,语气略带得意的开口,“这台设备买回来后,我就让隔壁机械学院的几位朋友改装了一下。”
“你看着,在这块源供给系统部分,我们加了一个恒温器,可以保证金属化合物一个衡定的蒸气压。”张主任指着仪器前端的加装上去的一个恒温器为顾律介绍。
“还有这。”张主任把顾律领到MOCVD的背面,“这块是气体运输系统,原本这里是只有一条管道的。”
“但是我们又增加了一条,这样的话,可以迅速变化反应室内的反应气体,并且还不会引起反应室内压力的变化!”
张主任为顾律详细的介绍了这台设备的改装情况。
除了反应室系统仍旧选择行星反应之外,其余的几个部分的系统皆进行了一定程度的改装优化。
“那……”
顾律问出了自己最关心的问题,“那现在,这台设备最大的产量是多少?”
张主任竖起三根手指,“最多可以同时生产三根两英寸的GaN宽禁带半导体!”
“嘶——!”
顾律倒吸一口冷气。
这产量……
据顾律所知,国外Veeco公司斥巨资新研发的一种型号的MOCVD,也就比这个产量稍微高点。
正在顾律啧啧惊叹的功夫,这台设备刚好结束了一轮的工作。
一旁的研究员助理就要过来取走成品。
张主任摆摆手,戴上白手套,表示要亲自将这次的成品取出。
忙活一阵后,张主任将两条长长粗粗的GaN宽禁带半导体取出。
张主任双手摩挲在这个长长粗粗的物件上。
“你们也过来摸摸,手感很不错,硬硬的,还有点烫。”张主任笑着招呼顾律师徒两人。
顾律扯了扯嘴角,然后,和张主任一块摸起来。
在旁边就摆着一台专门用于切割的仪器。
随着一阵吱吱吱的声音,长长的宽禁带半导体被切割成许多小段。
顾律拿起一块,在灯光下观察切割的截面。
“成色很不错啊!”
这样的半导体,只需要经过简单的几步除杂手段,就可以直接拿出去加工了。
反倒是一旁的张主任不是很满意的摇摇头,“还是不太行,整条半导体,最终可以利用的只有80%左右,剩下的部分还是杂质太多。”
顾律手中拿的那一截,是位于整条半导体的中间部位,成色当然不错。
但位于两端的部分,则是因为含杂太多。
在实际生产的过程中,需要进行融化分解后,再投进MOCVD中二次生产。
这其中就产生不少浪费。
不过这是相当普遍常见的现象,想要完成百分百的利用率,那基本是不存在的。
80%这个数字已经算是不错的了。