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安装在国产光刻机台，至于能否起到逆转乾坤的效果，接近甚至超越荷兰asml，则要经过一系列复杂的实验与磨合。
一间会议室里，众人听取来自吴东明的简报，吴东明将这次参观昆仑集团的过程以及收获，汇报给众位大佬，随即回到自己的座位，作为工信部实权人物，吴东明的座位被安排在最后一排，足以说明这次会议的格局之高。
“高原什么意见？”有个声音问道。
“他没什么意见，只说要是将中芯卖给他的话，他能少奋斗十年，否则就必须要从零开始了，昆仑集团虽然庞大，此前却没有半导体部门。”吴东明道。
大佬们纷纷颔首，事情很明显，高原有决心，但缺乏经验积累和人手，而目前华夏范围内，只有国家队才可能为他输送足够多的弹药。
“卖给他？合作不行吗？”又有大佬说道：“让中芯和昆仑成立合资企业，向他们和航天集团那样，一起研究，成果共享。”
吴东明摇了摇头说道：“不可能的，中芯里面不仅有国资，还有一部分外资，高原说，他和航天集团合作没有问题，因为航天集团的身份清清楚楚，而中芯嘛，明摆着里面有外资的企业，高原是不会合作的。”
哎～
大佬们纷纷扶额，某大佬感慨道：“没想到，高原一个私企，却比我们还激进。”
众人感慨，高原还真是个顽固的家伙，眼睛里容不下一丁点沙子，其实外资在中芯占比本来就不高，组建合资公司再进行一下稀释，应该掀不起多大风浪。
但高原依然不认可这样的方案，哪怕外资只占百分之一，他也是顽固不肯答应。
“还有呢？”大佬再问。
“高原说，如果中芯的事情一时半会儿搞不定，先批准他与长春光机合作也可以，毕竟他们的透镜系统，只是光刻机的零部件之一，还要与相关企业合作，才能整合出完整的光刻机。”吴东明道。
这个要求非常合理。
大佬们纷纷点头，世人常常以为，上海微电子是国家队负责搞光刻机项目的，其实不对，13.5nm的极紫外光刻机，一直由长春光机所负责攻坚，代号02专项。
所谓光刻机02专项，总体架构是这样的。
清华大学和帝都华卓精科，他们两家负责双工件台系统，目前项目进度比较快，已经基本解决了所有问题，因此，华夏成为是世界上第二个掌握该项技术的存在。
而第一个拿下双工件台的是荷兰ASML，他们的Twinscan技术，已经投产数年时间了，被证明性能可靠。
浙江大学流体动力与机电系统实验室，与浙江启尔机电，这两家负责沉浸式光刻机的浸液系统，目前已经基本完成，是继荷兰asml和日本尼康之后，全球第三家掌握该项技术的存在。
准分子激光光源，是中科院光电研究院负责的，传闻目前只能做到40w功率，而荷兰asml采用的光源，功率在2019年就达到了250w，这方面差距还是比较大的。
至于荷兰asml的光源供应商，是北美Cymer和日本Gigaphoton。
最后也是最重要的光学系统，由长春光机所负责物镜，上海光机所负责照明，项目进度未知。
至于荷兰asml的物镜和照明，来自大名鼎鼎的德国蔡司。
凡是了解摄影的人，应该都知道蔡司的镜片水准有多高，当然了，普通消费者多数并不知道，其实卡尔蔡司集团，还有半导体部门。
由此可见，所谓全球最强的荷兰asml光刻机，背后其实是标准的万国造，将全世界所有顶级技术堆在一起，才组成了asml极紫外光刻机。
因此，华夏光刻技术要挑战的不是asml，而是全世界。